Điện - Điện tử - Chương 4: Cảm biến vị trí và dịch chuyển

Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 42 Chương 4 CẢM BIẾN VỊ TRÍ VÀ DỊCH CHUYỂN 4.1 ĐIỆN THẾ KẾ ĐIỆN TRỞ 4.1.1 Cấu tạo Gồm một điện trở cố định R, trên có một tiếp xúc điện có thể di chuyển gọi là con chạy. Giá trị của điện trở đo được giữa con chạy và một đầu của điện trở R là hàm phụ thuộc vị trí con chạy và bản thân điện trở R. Nếu điện trở được chế tạo đồng đều thì R sẽ tỉ lệ tuyến tính với vị trí con chạy. Có hai dạng cảm biến vị trí điện trở: cảm biến điện trở dịch chuyển thẳng hình 4.1a; cảm biến điện trở tròn và tròn xoắn hình 4.1b-c Hình 4.1 Điện trở dịch chuyển thẳng: R L lR 1 )( = Điện trở dịch chuyển tròn: m R( ) R a a = a Đối với điện trở tròn: α M < 360° Đối với điện trở xoắn: α M > 360° Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 43 Hợp kim thường dùng làm điện trở là Ni–Cr, Ni–Cu, Ni–G–Fe, Ag–Pd. Dây điện trở được cuốn trên lõi cách điện còn dây được cách điện bằng emay. R nằm trong khoảng từ 1K – 100KΩ, có thể đạt đến vài MΩ. Con chạy phải tiếp xúc tốt, không tạo ra suất điện động tiếp xúc, điện trở tiếp xúc nhỏ và ổn định. Các tiêu chuẩn này phải đảm bảo trong điều kiện dao động và tốc độ dịch chuyển lớn. 4.1.2 Đặc điểm Hình 4.2 Khoảng cách có ích của con chạy Giá trị R(x)/R thường không ổn định ở cuối đường chạy của con trỏ hoặc ở các chỗ nối mạch điện hình 4.2. Khoảng cách có ích là khoảng mà trong đó R(x) là hàm tuyến tính của dịch chuyển. Độ phân giải Các cảm biến dây chỉ cho ta phát hiện sự biến thiên điện trở bằng một vòng dây, tương ứng với dịch chuyển hai vòng dây. Nếu điện trở toàn phần là R0, số vòng dây W, điện trở nhỏ nhất có thể phát hiện được là W R rn 0= ; rn- ngưỡng nhạy của cảm biến. Thời gian sống Thời gian sống của điện kế là số lần sử dụng của điện thế kế. Nguyên nhân gây ra hư hỏng và hạn chế thời gian sống của điện thế kế là sự mài mòn con chạy và dây điện trở trong quá trình làm việc. Thường thời gian sống của điện thế kế dạng dây dẫn vào cỡ 106 lần, điện kế dạng băng dẫn vào cỡ 5.107 - 108 lần. Moät soá ñaëc ñieåm cuûa caûm bieán thoâng duïng Thoâng soá Di chuyeån thaúng Di chuyeån vuoâng goùc -daûi ño -ñoä phaân daûi -coâng suaát -heä soá nhieät ñoä -taàn soá -ñoä beàn 2mm->8m 50 mm 0.1-50W 20-1000phaàn / Co/106 3Hz Ñeán 4x10 8 chu kì dòch chuyeån 10 60-O voøng oo 2.02 - Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 44 4.1.3 Maïch ño Maïch phaân aùp Ta coù: 32 3 RR R U E o + = Maïch kieåu caàu phaân aùp Ta coù: 34 4 12 2 RR R RR R E Uo + - + = 4.2 ĐIỆN THẾ KẾ DÙNG CON TRỎ QUANG Để khắc phục nhược điểm của điện thế kế dùng con chạy cơ học, người ta sử dụng điện thế kế liên kết quang hoặc từ. Hình 4.3 trình bày sơ đồ nguyên lý của một điện thế kế dùng con trỏ quang. Điện thế kế tròn dùng con trỏ quang gồm điot phát quang (1), băng đo (2), băng tiếp xúc (3) và băng quang dẫn (4). Băng điện trở đo được phân cách với băng tiếp xúc bởi một băng quang dẫn rất mảnh làm bằng CdSe trên đó có con trỏ quang dịch chuyển khi trục của điện thế kế quay. Điện trở của vùng quang dẫn giảm đáng kể trong vùng được chiếu sáng tạo nên sự liên kết giữa băng đo và băng tiếp xúc. Hình 4.3 Điện thế kế quay dùng con trỏ quang Thời gian hồi đáp của vật liệu quang dẫn cỡ vài chục ms. Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 45 4.3 ĐO DỊCH CHUYỂN BẰNG ENCODER THẲNG Các cảm biến đo vị trí và dịch chuyển theo phương pháp quang học gồm nguồn phát ánh sáng kết hợp với một đầu thu quang (thường là tế bào quang điện). Hình 4.4 đo dịch chuyển bằng thước khắc vạch (encoder tăng) cấu tạo của nó gồm: 1- thước khắc vạch, 2- nguồn sáng; 3,4,5,7- thấu kính, 6- tấm chắn ánh sánh; 8- tế bào quang điện. Nguyên lý hoat động tương tự giống cảm biến quang phản xạ, thước khắc vạch được khắc vạch trắng và đen xen nhau, ánh sáng bị hấp thụ khi gặp vạch đen và phản xạ khi gặp vạch trắng, như vậy cứ mỗi lần ánh sáng chuyển qua một vạch thì tế bào quang điện nhận được một xung ánh sáng và một xung điện được tạo ra, đếm số xung ta có thể suy ra di chuyển: Ta có: Dx=Nd Trong đó: Dx là khoảng dịch chuyển, N là số xung đếm được; d giá trị của mạch chia độ. Người ta có thể thực hiện 200 vạch/mm. 4.4 CẢM BIẾN ĐIỆN CẢM Cảm biến điện cảm là nhóm các cảm biến làm việc dựa trên nguyên lý cảm ứng điện từ. Vật cần đo vị trí hoặc dịch chuyển được gắn vào một phần tử của mạch từ gây nên sự biến thiên từ thông qua cuộn đo. Cảm biến điện cảm được chia ra: cảm biến tự cảm và hỗ cảm. 4.4.1 Cảm biến tự cảm có khe từ biến thiên Cảm biến tự cảm đơn Trên hình trình bày sơ đồ nguyên lý cấu tạo của một số loại cảm biến tự cảm đơn. Hình 4.5 Cảm biến tự cảm Cấu tạo gồm một cuộn dây quấn trên lõi thép cố định (phần tĩnh) và một lõi thép có thể di động dưới tác động của đại lượng đo (phần động), giữa phần tĩnh và phần động có khe hở không khí tạo nên một mạch từ hở. Dưới tác động của đại lượng đo Xv, phần ứng của cảm biến di chuyển, khe hở không khí d trong mạch từ thay đổi, làm cho từ trở của mạch từ biến thiên, do đó hệ số tự cảm và tổng trở của cuộn dây thay đổi theo. Khi phần ứng quay, tiết diện khe hở không khí thay đổi, làm cho từ trở của mạch từ biến thiên, do đó hệ số tự cảm và tổng trở của cuộn dây thay đổi theo. Hệ số tự cảm của cuộn dây cũng có thể thay đổi do thay đổi tổn hao sinh ra bởi dòng điện xoáy khi tấm sắt từ dịch chuyển dưới tác động của đại lượng đo Xv. Hình 4.4 Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 46 Nếu bỏ qua điện trở của cuộn dây và từ trở của lõi thép ta có: d m d sW R W L 0 2 == Trong đó: W- số vòng dây. s R 0m d d = - từ trở của khe hở không khí. d - chiều dài khe hở không khí. s - tiết diện thực của khe hở không khí. Trường hợp W = const ta có: d d d L ds s L dL .. ¶ ¶ + ¶ ¶ = Với lượng thay đổi hữu hạn ∆d và ∆s ta có: ( ) d dd m d m D D+ -D=D 2 0 00 2 0 0 2 sW s W L Độ nhạy của cảm biến tự cảm khi khe hở không khí thay đổi (s=const): 2 0 0 0 1 ú û ù ê ë é ÷÷ ø ö çç è æ D + -= D D = d dd dd LL S Độ nhạy của cảm biến tự cảm khi thay đổi tiết diện không khí (d = const) : 0 0 s L s L S = D D =d Tổng trở của cảm biến : d mw w sW LZ 0 2 == Ta thấy tổng trở Z của cảm biến là hàm tuyến tính với tiết diện khe hở không khí s và phi tuyến với chiều dài khe hở không khí δ. Hình 4.6 Sự phụ thuộc giữa L, Z với chiều dày khe hở không khí δ Đặc tính của cảm biến tự cảm đơn Z = f(∆δ) là hàm phi tuyến và phụ thuộc tần số nguồn kích thích, tần số nguồn kích thích càng cao thì độ nhạy của cảm biến càng cao. Cảm biến tự cảm kép lắp theo kiểu vi sai Để tăng độ nhạy của cảm biến và tăng đoạn đặc tính tuyến tính người ta thường dùng cảm biến tự cảm kép mắc theo kiểu vi sai (hình 4.7). Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 47 Hình 4.7: Cảm biến tự cảm kép mắc theo kiểu vi sai Đặc tính của cảm biến tự cảm kép vi sai có dạng như hình sau: Hình 4.8: Đặc tính của cảm biến tự cảm kép lắp vi sai 4.4.2 Cảm biến tự cảm có lõi từ di động Cảm biến gồm một cuộn dây bên trong có lõi từ di động được (hình 4.9). Hình 4.9 Dưới tác động của đại lượng đo Xv, lõi từ dịch chuyển làm cho độ dài lf của lõi từ nằm trong cuộn dây thay đổi, kéo theo sự thay đổi hệ số tự cảm L của cuộn dây. Sự phụ thuộc của L vào lf là hàm không tuyến tính, tuy nhiên có thể cải thiện bằng cách ghép hai cuộn dây đồng dạng vào hai nhánh kề sát nhau của một cầu điện trở có chung một lõi sắt. 4.5 CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG 4.5.1 Cảm biến tụ điện đơn Các cảm biến tụ điện đơn là một tụ điện phẳng hoặc hình trụ có một bản cực gắn cố định (bản cực tĩnh) và một bản cực di chuyển (bản cực động) liên kết với vật cần đo. Khi bản cực động di chuyển sẽ kéo theo sự thay đổi điện dung của tụ điện. Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 48 Đối với cảm biến hình 4.10a dưới tác động của đại lượng đo Xv, bản cực động di chuyển, khoảng các giữa các bản cực thay đổi, kéo theo điện dung tụ điện biến thiên. d ee s C 0= ε - hằng số điện môi của môi trường. ε0 - hằng số điện môi của chân không. s - diện tích nằm giữa hai điện cực. δ - khoảng cách giữa hai bản cực. Hình 4.10:Cảm biến tụ điện đơn Đối với cảm biến hình 4.10b: dưới tác động của đại lượng đo Xv, bản cực động di chuyển quay, diện tích giữa các bản cực thay đổi, kéo theo sự thay đổi của điện dung tụ điện. a - góc ứng với phần hai bản cực đối diện nhau. Xét trường hợp tụ điện phẳng, ta có: Đưa về dạng sai phân ta có: Khi khoảng cách giữa hai bản cực thay đổi (e = const và s=const), độ nhạy của cảm biến: Khi diện tích của bản cực thay đổi ( e = const và d = const), độ nhạy của cảm biến: Khi hằng số điện môi thay đổi ( s = const và d = const), độ nhạy của cảm biến: Nếu xét đến dung kháng: Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 49 Đưa về dạng sai phân: Tương tự trên ta có độ nhạy của cảm biến theo dung kháng: Từ các biểu thức trên có thể rút ra: § Biến thiên điện dung của cảm biến tụ điện là hàm tuyến tính khi diện tích bản cực và hằng số điện môi thay đổi nhưng phi tuyến khi khoảng cách giữa hai bản cực thay đổi. § Biến thiên dung kháng của cảm biến tụ điện là hàm tuyến tính khi khoảng cách giữa hai bản cực thay đổi nhưng phi tuyến khi diện tích bản cực và hằng số điện môi thay đổi. § Ngoài ra giữa hai bản cực khi có điện áp đặt vào sẽ phát sinh lực hút, lực này cần phải nhỏ hơn đại lượng đo. 4.5.2 Cảm biến tụ kép vi sai Hình 4.11 Cảm biến tụ kép vi sai Tụ kép vi sai có khoảng cách giữa các bản cực biến thiên dịch chuyển thẳng (hình a) hoặc có diện tích bản cực biến thiên dịch chuyển quay (hình b) và dịch chuyển thẳng (hình c) gồm ba bản cực. Bản cực động A1 dịch chuyển giữa hai bản cực cố định A2 và A3 tạo thành cùng với hai bản cực này hai tụ điện có điện dung C21 và C31 biến thiên ngược chiều nhau. Độ nhạy và độ tuyến tính của tụ kép vi sai cao hơn tụ đơn và lực tương hỗ giữa các bản cực triệt tiêu lẫn nhau do ngược chiều nhau. Mạch đo Thông thường mạch đo dùng với cảm biến điện dung là các mạch cầu không cân bằng cung cấp bằng dòng xoay chiều. Mạch đo cần thoả mãn các yêu cầu sau: § Tổng trở đầu vào tức là tổng trở của đường chéo cầu phải thật lớn. § Các dây dẫn phải được bọc kim loại để tránh ảnh hưởng của điện trường ngoài. § Không được mắc các điện trở song song với cảm biến. § Chống ẩm tốt. Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 50 Hình 4.12 Hình 4.12a là sơ đồ mạch cầu dùng cho cảm biến tụ kép vi sai với hai điện trở. Cung cấp cho mạch cầu là một máy phát tần số cao. Hình 4.12b là sơ đồ mạch mặch cầu biến áp với hai nhánh tụ điện. 4.6 CẢM BIẾN ĐIỆN TỪ Khi đo vận tốc dài, với độ dịch chuyển lớn của vật khảo sát (> 1m) thường chuyển thành đo vận tốc góc. Trường hợp đo vận tốc của dịch chuyển thẳng nhỏ có thể dùng cảm biến vận tốc dài gồm hai phần tử cơ bản: một nam châm và một cuộn dây. Khi đo, một phần tử được giữ cố định, phần tử thứ hai liên kết với vật chuyển động. Chuyển động tương đối giữa cuộn dây và nam châm làm xuất hiện trong cuộn dây một suất điện động tỉ lệ với vận tốc cần đo. Sơ đồ cảm biến có cuộn dây di động biểu diễn trên hình 4.13 Suất điện động xuất hiện trong cuộn dây có dạng: N - số vòng dây. r - bán kính vòng dây. B - giá trị của cảm ứng từ. v - tốc độ dịch chuyển của vòng dây. l - tổng chiều dài của dây. Tốc độ kế loại này đo được độ dịch chuyển vài mm với độ nhạy ~ 1V/m.s. Khi độ dịch chuyển lớn hơn (tới 0,5 m) người ta dùng tốc độ kế có nam châm di động (hình 4.14). Cảm biến gồm một nam châm di chuyển dọc trục của hai cuộn dây quấn ngược chiều nhau và mắc nối tiếp. Khi nam châm di chuyển, suất điện động xuất hiện trong từng cuộn dây tỉ lệ với tốc độ của nam châm nhưng ngược chiều nhau. Hai cuộn dây được mắc nối tiếp và quấn ngược chiều nên nhận được suất điện động ở đầu ra khác không. Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 51 Tốc độ kế từ dùng phương pháp đếm xung hình 4.15. Cấu tạo của cảm biến từ trở biến thiên gồm một cuộn dây có lõi sắt từ chịu tác động của một nam châm vĩnh cửu đặt đối diện với một đĩa quay làm bằng vật liệu sắt từ trên đó có khía răng. Khi đĩa quay, từ trở của mạch từ biến thiên một cách tuần hoàn làm cho từ thông qua cuộn dây biên thiên, trong cuộn dây xuất hiện một suất điện động cảm ứng có tần số tỉ lệ với tốc độ quay. Tần số của suất điện động trong cuộn dây xác định bởi biểu thức: f = pn p - số lượng răng trên đĩa. n - số vòng quay của đĩa trong một giây. Biên độ E của suất điện động trong cuộn dây phụ thuộc hai yếu tố: - Khoảng cách giữa cuộn dây và đĩa quay: khoảng cách càng lớn E càng nhỏ. - Tốc độ quay: Tốc độ quay càng lớn, E càng lớn. Khi tốc độ quay nhỏ, biên độ E rất bé và khó phát hiện, do vậy tồn tại một vùng tốc độ quay không thể đo được, người ta gọi vùng này là vùng chết. Dải đo của cảm biến phụ thuộc vào số răng của đĩa. Khi p lớn, tốc độ nmin đo được có giá trị bé. Khi p nhỏ, tốc độ nmax đo được sẽ lớn. Thí dụ với p = 60 răng, dải tốc độ đo được n = 50 - 500 vòng/phút, còn với p =15 răng dải tốc độ đo được 500 - 10.000 vòng/phút. Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 52 4.7 BIẾN ÁP VI SAI LVDT (linear variable differential transformer) Biến áp vi sai gồm cuộn sơ cấp và hai cuộn thứ cấp quấn trên lõi hình trụ, trong lõi có một nòng ferrite di chuyển tự do. Cuộn sơ cấp được cung cấp áp kích thích xoay chiều, hai cuộn thứ cấp được đấu nối tiếp ngược chiều cung cấp điện áp ra, biên độ và pha tùy thuộc khoảng di chuyển của nòng. Hình 4.16 Điện áp xoay chiều ov có biên độ tỷ lệ với khoảng dịch chuyển x còn góc pha phụ thuộc hướng lệch so với vị trí cân bằng. Thông số cảm biến: Mã hiệu: D5M-10 Tầm đo: 10mm Tầm di chuyển cơ: khoảng 12mm Vận tốc tối đa cho phép: 0,3m/s. Tầm chỉnh offset: ± 0,05mm Lực tác động lực tối đa: 600 gf (8,34oz-inch). Tín hiệu ra: 4¸20mA (tổng trở tải tối đa: 300W max.) Độ lặp lại tối thiểu: 10mm Độ tuyến tính tối đa: ± 0,5%FS. Hình 4.18: Cảm biến LVDT 5M và khuếch đại Trong khoảng hoạt động tuyến tính có thể viết: = = ao i iv kv xv với: a - hệ số tỷ lệ; x - độ dịch chuyển so với vị trí cân bằng. Điện áp xoay chiều cấp cho cuộn sơ cấp khoảng 3 ¸ 15V, tần số 50Hz¸20kHz. Điện áp vo được đổi thành tín hiệu một chiều nhờ bộ nhân và lọc thấp qua. Hình 4.17 Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 53 Hình 4.19 Ta có: 21 1 o i 1 iv = k v v = kk v với: vi = Vsinwt 2 2 21 1 1 1 2 2 cos sin - w = w = tv kk v t kk V Sau khi lọc thấp qua ta được điện áp một chiều Vdc tỷ lệ với độ dịch chuyển. Biến áp vi sai thường dùng để đổi dịch chuyển ra điện áp độ phi tuyến 0,2% cả tầm, không bị ảnh hưởng nhiệt độ, điện áp ra lớn, tầm đo rộng ( ± 70 cm). Khuyết điểm là trọng khối của nòng có thể ảnh hưởng đến độ chính xác đo. 4.8 MÁY ĐO GÓC TUYỆT ĐỐI RESOLVER Máy đo góc tuyệt đối gồm hai phần: phần động gắn liền với trục quay chứa cuộn sơ cấp được kích thích bằng sóng mang có tần số 2 - 10 kHz qua máy biến áp quay (hình 4.20). Phần tĩnh có hai dây quấn thứ cấp (cuộn sin và cuộn cos) đặt lệch nhau 900. Khi trục quay, ở đầu ra của hai dây quấn thứ cấp ta thu được hai tín hiệu điều biên UU0sinωtsinθ và UU0sinωtcosθ. Đường bao của biên độ kênh tín hiệu ra chứa thông tin về vị trí tuyệt đối (góc θ) của roto máy đo tức là vị trí tuyệt đối của trục quay. Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 54 Có hai cách xử lý thông tin thu được. Cách thứ nhất là hiệu chỉnh sửa sai góc thu được trên cơ sở so sánh góc với một số vi mạch sẵn có. Các vi mạch này cho tín hiệu góc dạng số với độ phân giải 10 - 16 bit/1vòng và một tốc độ quay dạng tương tự. Độ phân giải của phương pháp này phụ thuộc vào thông số của mạch điều chỉnh. Cách thứ hai, có chất lượng cao hơn, là dùng hai bộ chuyển đổi tương tự - số để lấy mẫu trực tiếp từ đỉnh tín hiệu điều chế. Trong trường hợp này cần đồng bộ chặt chẽ giữa thời điểm lấy mẫu và khâu tạo tín hiệu kích thích 2-10kHz sau đó dùng bộ lọc để chuyển xung hình chữ nhật thành tín hiệu kích thích hình sin. Độ phân giải của phép đo dùng máy đo góc tuyệt đối hoàn toàn phụ thuộc vào độ phân giải của bộ chuyển đổi tương tự số. Khi biết góc quay tuyệt đối θ, lấy đạo hàm ta nhận được tốc độ góc ω cần đo. 4.9 CẢM BIẾN TIỆM CẬN (proximity sensor) Cảm biến tiệm cận hay còn gọi cảm biến gần dùng để phát giác không tiếp xúc sự hiện diện của một vật, thường dùng để thay contact hành trình cơ khí. Có hai loại cảm biến tiệm cận: tiệm cận điện cảm và tiệm cận điện dung. Cảm biến gần điện cảm (CBGĐC) dùng cho kim loại có sắt hay không sắt (nhôm, đồng, thép không rỉ, thiếc, kẽm..). Nguyên lý hoạt động là thay đổi điện cảm của cuộn dây mạch dao động LC khi đặt cuộn dây gần vật kim loại. Sự thay đổi tần số được phát hiện bởi mạch so sánh tần số và làm đóng mở transistor loại NPN hay PNP. Khoảng cách cảm nhận phụ thuộc vật liệu và kích thước của vật, từ 2mm đến 20mm. Hình 4.21. Nguyên lý hoạt động cảm biến gần Cảm biến gần điện dung (CBGĐD) có thể dùng cho vật kim loại và không kim loại như thủy tinh, giấy, gỗ, nước, dầuTần số thay đổi là do vật lại gần làm thay đổi điện dung mạch dao động. Cảm biến gần điện dung có kích thước lớn hơn cảm biến gần điện cảm. Khoảng cách cảm nhận từ 3mm đến 25mm. Hình 4.22: Hình dạng CBGĐCE2E-X và CBGĐD E2K-C25M CBG có loại hai dây và ba dây, thường hở và thường đóng, nguồn cung cấp có thể là 24VDC hoặc 220VAC. Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 55 Hình 4.23: Sơ đồ nối dây CBG Hình 4.24: Quan hệ khoảng cách cảm nhận theo kích thước và vật liệu của vật của CBGĐC Hình 4.25: Quan hệ khoảng cách cảm nhận theo kích thước và vật liệu của vật của CBGĐD Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 56 Ngoài cảm biến gần On/Off còn có loại cảm biến gần cho dòng hay áp ra tỷ lệ với khoảng cách giữa vật và cảm biến dựa trên nguyên tắc cảm ứng. Hãng Keyence có loại khuếch đại EX-510 dùng với cảm biến EX-022 cho tín hiệu ra là điện áp hay dòng tỷ lệ khoảng cách từ vật đến cảm biến, khoảng cách tối đa 10mm, điện áp ra 0..5V, dòng ra 4..20mA, độ tuyến tính 0.3%FS, độ phân giải 0.03%FS. Nguyên lý hoạt động dựa trên tính sự thay đổi biên độ, tần số và pha của dao động khi có vật di chuyển gần cảm biến, từ đó suy ra khoảng cách và tuyến tính hóa để đạt độ chính xác cao. Loại E2C của OMRON cũng có đặc tính tương tự. Các loại cảm biến này chỉ dùng cho vật kim loại. 4.10 CẢM BIẾN LASER VÀ SIÊU ÂM Cảm biến laser dùng để đo độ dịch chuyển trong phạm vi vài cm khi khoảng cách từ vật đến cảm biến tương đối lớn 4cm đến 10cm. Tia laser (hồng ngoại hay nhìn thấy) chiếu lên vật và được phản xạ lại, sau khi qua hệ thống thấu kính tác dụng lên cảm biến vị trí (PSD Position Sensor Detector); sử dụng phép tính tam giác dựa trên vị trí tia phản xạ tác dụng lên PSD, vi xử lý tính ra khoảng cách từ vật đến cảm biến và xuất ra dòng hay áp tỷ lệ. Độ phân giải có thể đạt đến 1.5mm. Sai số đo còn tùy thuộc hướng của mặt phản xạ tia. Hình 4.26: Cảm biến đo dịch chuyển không tiếp xúc Cảm biến siêu âm đo khoảng cách dựa trên thời gian T từ phát chùm siêu âm đến khi nhận được chùm sóng phản xạ, v d T 2 = , d: khoảng cách, v: vận tốc âm thanh. Độ chính xác của phương pháp này không cao, độ phân giải khoảng 0.2mm với khoảng cách 30mm..50mm (cảm biến EZ4D OMRON) 4.11 ĐỔI HƯỚNG KẾ Đổi hướng kế được gắn vào vật chuyển động để đo tốc độ góc của vật. Hai dạng đổi hướng kế thường dùng là: đổi hướng kế cơ học dùng con quay hồi chuyển, đổi hướng kế quang dùng laze và cáp quang dựa trên hiện tượng truyền sóng ánh sáng. 4.11.1 Đổi hướng kế dùng con quay hồi chuyển Con quay hồi chuyển gồm một roto lắp trên một khung động và được quay quanh trục Y’Y với tốc độ lớn (~104vòng/phút) nhờ một động cơ. Bài giảng Đo lường và cảm biến Trang 57 Tốc độ quay ω cần đo theo trục Z’Z vuông góc với trục Y’Y làm xuất hiện một ngẫu lực Cg tỉ lệ với ω theo hướng X’X vuô