Đề tài Tổng hợp màng cứng CM bằng phương pháp phún xạ mạ ion (sip)

(Bản scan) Hiện nay, trong lĩnh vực chế tạo màng mỏngcó rất nhiều phương pháp chế tạo màng trên dế rắn. Trong đó, phương pháp ngưng tự hóa học và phương pháp ngưng tụ vật lý là bai phưpng pháo chính để tạo màng mỏng từ pha hơi Trong phương pháp ngưng tụ hóa (CVD) màng mỏng được thành lập dựa trên sự điều khiển trực tiếp các phản ứng hóa học giữa hợp chất dễ bây hơi của vật liệu cần phủ với hỗn hợp khí